潔凈棚通過以下核心措施控制顆粒物濃度:
1. 高效過濾系統:采用HEPA或ULPA過濾器,過濾效率達99.99%以上(針對0.3μm顆粒),確保送風潔凈。
2. 氣流組織設計:
單向流(垂直/水平層流):氣流均勻覆蓋工作區,快速帶走污染物,適用于ISO 5級(百級)等高要求場景。
非單向流:配合FFU(風機過濾單元)循環過濾,適合ISO 6-8級(千級至十萬級)。
3.壓差控制:維持正壓(如+5~+10Pa)防止外部污染侵入,關鍵區域可設置緩沖間。
4. 材料與結構:采用光滑抗菌板材、無縫接縫,減少積塵死角;透明簾或硬質圍擋平衡密閉性與操作性。
5. 監測與維護:實時粒子計數器監測,定期更換過濾器、清潔表面,確保長期穩定性。
行業適配:
半導體/光電:需ISO 4-5級,采用ULPA過濾器+高風速單向流。
醫藥/食品:ISO 5-7級,側重防微生物污染,材料需耐腐蝕。
普通電子:ISO 6-8級,FFU循環系統即可滿足,成本更低。